Method of fabricating semiconductor quantum dots using nanoimprint lithography

WO2011134857 Art A1 3. November 2011

Anmelder: Technische Universität Berlin 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011134857
Aktenzeichen: EP11719213
Anmeldetag: 20. April 2011
Veröffentlichung: 3. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/335G03F7/00B82Y40/00H01L29/12H01L29/76H01L29/06H01L29/20B82Y10/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Firma: Technische Universität Berlin
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Technische Universität Berlin

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