Method of manufacturing crystalline semiconductor and laser anneal apparatus

WO2011135939 Art A1 3. November 2011

Anmelder: The Japan Steel Works, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011135939
Aktenzeichen
EP11774723
Anmeldetag
16. März 2011
Veröffentlichung
3. November 2011
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/20H01L21/268
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
The Japan Steel Works, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 The Japan Steel Works

The Japan Steel Works ist ein japanischer Maschinenbaukonzern, unter anderem für Spritzgießmaschinen und Stahlkomponenten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Kunststoff- und Polymertechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Fertigungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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