Epitaxial film formation method, vacuum treatment device, method for producing semiconductor light-emitting element, semiconductor light-emitting element, lighting device

WO2011136016 Art A1 3. November 2011

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011136016
Aktenzeichen
EP11774800
Anmeldetag
12. April 2011
Veröffentlichung
3. November 2011
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/38C23C14/06C23C14/34H01L21/203H01L21/683H01L33/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Canon Anelva Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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