Method for the production of biaxially textured films and films obtained using such a method

WO2011138019 Art A1 10. November 2011

Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011138019
Aktenzeichen: EP11723245
Anmeldetag: 4. Mai 2011
Veröffentlichung: 10. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/02C23C16/48C30B28/00C23C14/22H01L39/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ETH Zurich
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 ETH Zürich

Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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