Height measuring method and height measuring device

WO2011138874 Art A1 10. November 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011138874
Aktenzeichen: EP11777393
Anmeldetag: 6. Mai 2011
Veröffentlichung: 10. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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