Efficient High-Harmonic-Generation-Based Euv Source Driven By Short Wavelength Light

WO2011139303 Art A2 10. November 2011

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011139303
Aktenzeichen: EP10851155
Anmeldetag: 13. Dezember 2010
Veröffentlichung: 10. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/09H01S3/05

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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