Electron source modification of microporous halocarbon filter membranes

WO2011139656 Art A2 10. November 2011

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011139656
Aktenzeichen: EP11777893
Anmeldetag: 26. April 2011
Veröffentlichung: 10. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C08J7/18C08J7/12B01D67/00B01D71/36B01D71/82

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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