Okularsystem sowie Anzeigesystem mit einem Solchen Okularsystem

WO2011141284 Art A1 17. November 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011141284
Aktenzeichen: EP11716879
Anmeldetag: 20. April 2011
Veröffentlichung: 17. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G02B25/00G02B27/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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