Kammer zur Physikalischen Dampfabscheidung

WO2011141513 Art A1 17. November 2011

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011141513
Aktenzeichen: EP11719008
Anmeldetag: 11. Mai 2011
Veröffentlichung: 17. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/34C23C14/35C23C14/34H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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