Apparatus and method for manufacturing single crystal

WO2011142076 Art A1 17. November 2011

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011142076
Aktenzeichen
EP11780337
Anmeldetag
6. April 2011
Veröffentlichung
17. November 2011
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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