Fixed abrasive pad with surfactant for chemical mechanical planarization

WO2011142986 Art A1 17. November 2011

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011142986
Aktenzeichen: EP11719721
Anmeldetag: 29. April 2011
Veröffentlichung: 17. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B24D3/34B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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