Illumination optics for a metrology system for examining an object using euv illumination light and metrology system comprising an illumination optics of this type

WO2011144389 Art A1 24. November 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011144389
Aktenzeichen: EP11716392
Anmeldetag: 12. April 2011
Veröffentlichung: 24. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/10G02B17/06G02B5/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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