Pattern dimension measurement method, pattern dimension measurement device, program for causing computer to execute pattern dimension measurement method, and recording medium having same recorded thereon

WO2011145338 Art A1 24. November 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011145338
Aktenzeichen: EP11783275
Anmeldetag: 18. Mai 2011
Veröffentlichung: 24. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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