Vacuum processing apparatus, method for processing object to be processed, and film forming apparatus
WO2011145530
Art A1
24. November 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011145530
- Aktenzeichen
- EP11783464
- Anmeldetag
- 13. Mai 2011
- Veröffentlichung
- 24. November 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/31H01L21/312
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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