Imprinting system, imprinting method, and computer storage medium

WO2011145611 Art A1 24. November 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011145611
Aktenzeichen: EP11783545
Anmeldetag: 17. Mai 2011
Veröffentlichung: 24. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C33/58B29C33/72B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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