Determination of a commutation offset and a compensation map for a stage

WO2011145743 Art A1 24. November 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011145743
Aktenzeichen: EP11728695
Anmeldetag: 17. Mai 2011
Veröffentlichung: 24. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H02P6/00H02P6/06H02P25/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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