Method and system for 4d tomography and ultrafast scanning electron microscopy

WO2011146084 Art A1 24. November 2011

Anmelder: California Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011146084
Aktenzeichen: EP10851902
Anmeldetag: 16. September 2010
Veröffentlichung: 24. November 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: California Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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