Apparatus and method for electrostatic discharge (esd) reduction

WO2011147775 Art A1 1. Dezember 2011

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011147775
Aktenzeichen: EP11720783
Anmeldetag: 23. Mai 2011
Veröffentlichung: 1. Dezember 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683G03F7/20G03F9/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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