Probe structure, probe device, method for producing probe structure, and testing device
WO2011148540
Art A1
1. Dezember 2011
Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011148540
- Aktenzeichen
- EP11786244
- Anmeldetag
- 18. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01R1/073G01R31/26G01R31/28H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advantest Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.