Probe structure, probe device, method for producing probe structure, and testing device

WO2011148540 Art A1 1. Dezember 2011

Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011148540
Aktenzeichen
EP11786244
Anmeldetag
18. Februar 2011
Veröffentlichung
1. Dezember 2011
Rechtsraum
WO
IPC
G01R1/073G01R31/26G01R31/28H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Advantest Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

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