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WO2011148600 Art A1 1. Dezember 2011

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011148600
Aktenzeichen
EP11786303
Anmeldetag
20. Mai 2011
Veröffentlichung
1. Dezember 2011
Rechtsraum
WO
IPC
B22F9/04C22C1/04C22C9/00C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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