Substrate for optical elements

WO2011151381 Art A1 8. Dezember 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011151381
Aktenzeichen: EP11722467
Anmeldetag: 1. Juni 2011
Veröffentlichung: 8. Dezember 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G03F1/14G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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