Magnetic filter and impurity-collection method using same
WO2011155431
Art A1
15. Dezember 2011
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011155431
- Aktenzeichen
- EP11792388
- Anmeldetag
- 6. Juni 2011
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B01D35/06B01D39/14B03C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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