Ultrasonic cleaning apparatus and ultrasonic cleaning method

WO2011155548 Art A1 15. Dezember 2011

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Kaijo Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011155548
Aktenzeichen: EP11792505
Anmeldetag: 2. Juni 2011
Veröffentlichung: 15. Dezember 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B08B3/12C23G3/00C23G5/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Kaijo Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von