Stamper for microstructure transfer and microstructure transfer device

WO2011155582 Art A1 15. Dezember 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011155582
Aktenzeichen: EP11792539
Anmeldetag: 10. Juni 2011
Veröffentlichung: 15. Dezember 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C33/40B29C59/02G11B5/84G11B7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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