Method for active phase correction using negative index metamaterials, exposure imaging device and system using same, and method for improving the resolution of the exposure imaging device using the negative index metamaterials
WO2011155683
Art A1
15. Dezember 2011
Anmelder: Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011155683
- Aktenzeichen
- EP11792594
- Anmeldetag
- 24. Januar 2011
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University
Technologietransfer- und Patentverwertungsstelle der Yonsei University in Südkorea, verwaltet Erfindungen aus der universitären Forschung.
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Vertreten von
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