Apparatus and method for printing process simulation

WO2011155808 Art A2 15. Dezember 2011

Anmelder: Korea Institute Of Machinery & Materials 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011155808
Aktenzeichen: EP11792719
Anmeldetag: 13. Juni 2011
Veröffentlichung: 15. Dezember 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Korea Institute Of Machinery & Materials
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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