Charged particle beam device and soundproofing cover

WO2011158458 Art A1 22. Dezember 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011158458
Aktenzeichen
EP11795366
Anmeldetag
3. Juni 2011
Veröffentlichung
22. Dezember 2011
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/09G10K11/16G10K11/162H01J37/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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