Induktiv Gekoppelte Plasmaerzeugungsvorrichtung

WO2011158808 Art A1 22. Dezember 2011

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011158808
Aktenzeichen
EP11795713
Anmeldetag
13. Juni 2011
Veröffentlichung
22. Dezember 2011
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/46C23C16/507
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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