Electrodes to improve reliability of nanoelectromechanical systems

WO2011159351 Art A2 22. Dezember 2011

Anmelder: Northwestern University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011159351
Aktenzeichen: EP11796087
Anmeldetag: 16. Juni 2011
Veröffentlichung: 22. Dezember 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00B81B3/00B81B7/02H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Northwestern University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Northwestern University

Private US-amerikanische Universität mit Hauptsitz in Evanston, Illinois, bekannt für Forschung in Ingenieurwissenschaften, Medizin und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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