Optically tuned metalized light to heat conversion layer for wafer support system

WO2011159456 Art A2 22. Dezember 2011

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011159456
Aktenzeichen: EP11796146
Anmeldetag: 27. Mai 2011
Veröffentlichung: 22. Dezember 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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