Technique for limiting transmission of fault current

WO2011159893 Art A1 22. Dezember 2011

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011159893
Aktenzeichen
EP11735571
Anmeldetag
16. Juni 2011
Veröffentlichung
22. Dezember 2011
Rechtsraum
WO
IPC
H02H9/02H01L39/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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