Pneumatic bearing with bonded polymer film wear surface and production method thereof

WO2011160867 Art A1 29. Dezember 2011

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011160867
Aktenzeichen: EP11712857
Anmeldetag: 6. April 2011
Veröffentlichung: 29. Dezember 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B32B27/28F16C32/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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