Multi-layer substrate structure and manufacturing method for the same

WO2011161318 Art A1 29. Dezember 2011

Anmelder: Teknologian Tutkimuskeskus VTT 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011161318
Aktenzeichen: EP11797669
Anmeldetag: 21. Juni 2011
Veröffentlichung: 29. Dezember 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02B81C1/00C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Teknologian Tutkimuskeskus VTT
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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