Atomic layer deposition of chemical passivation layers and high performance anti-reflection coatings on back-illuminated detectors

WO2011163510 Art A2 29. Dezember 2011

Anmelder: California Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011163510
Aktenzeichen: EP11798945
Anmeldetag: 23. Juni 2011
Veröffentlichung: 29. Dezember 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L27/146H01L31/0216

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: California Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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