Semiconductor inspecting apparatus
WO2012001867
Art A1
5. Januar 2012
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012001867
- Aktenzeichen
- EP11800344
- Anmeldetag
- 18. Mai 2011
- Veröffentlichung
- 5. Januar 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66G01B11/00G01B15/00G01N21/956G01N23/225G06T1/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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