Exposure system

WO2012002114 Art A1 5. Januar 2012

Anmelder: V Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012002114
Aktenzeichen
EP11800582
Anmeldetag
7. Juni 2011
Veröffentlichung
5. Januar 2012
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G02F1/13G02F1/1368
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
V Technology Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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