Reactive species supply device and surface treatment device

WO2012002478 Art A1 5. Januar 2012

Anmelder: National University Corporation Nagoya University, Nu Eco Engineering Co., Ltd., Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012002478
Aktenzeichen: EP11800940
Anmeldetag: 30. Juni 2011
Veröffentlichung: 5. Januar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/24B01J19/08B08B7/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Nagoya University
Nu Eco Engineering Co., Ltd.
Fuji Machine Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National University Corporation Nagoya University

Japanische staatliche Universität mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, unter anderem bekannt für Arbeiten zu LED-Technologie. Trägerin zahlreicher Patente aus Universitätsforschung in Japan.

702 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Fuji Machine Mfg.

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chiryu, das Bestückungsautomaten und Fertigungssysteme für die Elektronikindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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