Electrostatic chuck device and production method for same

WO2012005294 Art A1 12. Januar 2012

Anmelder: Creative Technology Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012005294
Aktenzeichen: EP11803628
Anmeldetag: 6. Juli 2011
Veröffentlichung: 12. Januar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Creative Technology Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇸🇬 Creative Technology

Creative Technology ist ein Elektronikkonzern aus Singapur, bekannt für Audio- und Multimedia-Produkte wie Sound Blaster. Der Patentbestand liegt vor allem in Nachrichtentechnik, Software sowie Akustik- und Datenspeichertechnik, ergänzt um Halbleiterbauelemente. Die Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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