Drying method for surface structure body

WO2012006139 Art A2 12. Januar 2012

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012006139
Aktenzeichen: EP11804167
Anmeldetag: 29. Juni 2011
Veröffentlichung: 12. Januar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/302B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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