Self-polarized capacitive micromechanical resonator apparatus and fabrication method

WO2012006314 Art A1 12. Januar 2012

Anmelder: Georgia Tech Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012006314
Aktenzeichen: EP11804270
Anmeldetag: 6. Juli 2011
Veröffentlichung: 12. Januar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01P1/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Georgia Tech Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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