Plasma Processing in A Capacitively-Coupled Reactor With Trapezoidal-Waveform Excitation

WO2012007483 Art A1 19. Januar 2012

Anmelder: Ecole Polytechnique, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012007483
Aktenzeichen: EP11741151
Anmeldetag: 12. Juli 2011
Veröffentlichung: 19. Januar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ecole Polytechnique
Centre National de la Recherche Scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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