Sealing device and conveyance device

WO2012008156 Art A1 19. Januar 2012

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012008156
Aktenzeichen: EP11806490
Anmeldetag: 13. Juli 2011
Veröffentlichung: 19. Januar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: F16J15/18B25J19/00H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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