Controllable transmission and phase compensation of transparent material
WO2012009108
Art A2
19. Januar 2012
Anmelder: Carl Zeiss SMS Ltd, Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇮🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012009108
- Aktenzeichen
- EP11736483
- Anmeldetag
- 21. Juni 2011
- Veröffentlichung
- 19. Januar 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C03C23/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMS Ltd
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇮🇱 Israel
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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