Light irradiation device

WO2012011166 Art A1 26. Januar 2012

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012011166
Aktenzeichen: EP10855003
Anmeldetag: 20. Juli 2010
Veröffentlichung: 26. Januar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/1339G02F1/13G09F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Optik & Fototechnik

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