Laser lift-off method and laser lift-off apparatus

WO2012011202 Art A1 26. Januar 2012

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012011202
Aktenzeichen
EP10855039
Anmeldetag
28. September 2010
Veröffentlichung
26. Januar 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/20H01L21/268
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

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