Apparatus for heat-treating semiconductor substrate

WO2012011203 Art A1 26. Januar 2012

Anmelder: Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012011203
Aktenzeichen
EP10855040
Anmeldetag
30. September 2010
Veröffentlichung
26. Januar 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/324
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsui Engineering & Shipbuilding

Mitsui Engineering & Shipbuilding ist ein japanischer Schiffbau- und Maschinenbaukonzern, der heute Teil von Mitsui E&S ist. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fahrzeugtechnik für Schiffe, ergänzt durch Halbleiter-, Antriebs- und Fördertechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2018.

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