Charged particle beam emitting device

WO2012014370 Art A1 2. Februar 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012014370
Aktenzeichen: EP11811977
Anmeldetag: 15. Juni 2011
Veröffentlichung: 2. Februar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/065H01J37/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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