Calibration method and flow-rate measurement method for flow-rate controller of gas supplying apparatus

WO2012014375 Art A1 2. Februar 2012

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012014375
Aktenzeichen: EP11811982
Anmeldetag: 28. Juni 2011
Veröffentlichung: 2. Februar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06G01F3/38G01F25/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von