Imprint device and imprint transfer method

WO2012014869 Art A1 2. Februar 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012014869
Aktenzeichen
EP11812458
Anmeldetag
26. Juli 2011
Veröffentlichung
2. Februar 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027B29C59/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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