Imprint device and imprint transfer method
WO2012014869
Art A1
2. Februar 2012
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012014869
- Aktenzeichen
- EP11812458
- Anmeldetag
- 26. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 2. Februar 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/027B29C59/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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