Non-volatile semiconductor memory device, production method for same, and charge storage film

WO2012014992 Art A1 2. Februar 2012

Anmelder: Tokai University Educational System, ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012014992
Aktenzeichen: EP11812581
Anmeldetag: 28. Juli 2011
Veröffentlichung: 2. Februar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/8247C23C16/42H01L21/318H01L27/115H01L29/788H01L29/792

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokai University Educational System
ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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